直線電機(jī)應(yīng)用案例
直線電機(jī)XY平臺(tái)應(yīng)用于玻璃基板坐標(biāo)測(cè)定機(jī)
規(guī)格
行程 ：3,670×2,618mm
尺寸 ：5,432×3,365.5×1,804.2mm
重復(fù)定位精度 ：±0.26μm
最高速度 ：500mm/sec
真直度（水平・垂直） ：27μm
直線電機(jī)XY平臺(tái)應(yīng)用于玻璃基板坐標(biāo)測(cè)定機(jī)
規(guī)格
行程 ：3,670×2,618mm
尺寸 ：5,432×3,365.5×1,804.2mm
重復(fù)定位精度 ：±0.26μm
最高速度 ：500mm/sec
真直度（水平・垂直） ：27μm